景通仪器厂温馨提示：
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产品概述
研究级12寸大平台半导体检查显微镜CM120BD广泛应用于芯片/晶圆/LCD，粒子爆破检查等行业使用。采用半复消技术，集明场，暗场及偏光等多种照明方式，任何观察都能呈现清晰锐利的显微图像，其微分干涉效果可与进口品牌相媲美。用户可根据实际应用进行功能选择，是工业检测的有效工具。特别是针对线路板切片测量，晶圆检测，金相材料，高分子材料等尺寸较大的样器进行分析检测，本机配备了偏振系统可做偏光检测，在半导体和PCB检测中，可消除杂光，细节更加清晰。同时可以选配DIC干涉附件插入DlC棱镜，可进行DIC微分干涉相衬观察。DIC技术可以使物体表面微小的高低差产生明显的浮雕效果，大幅提高图像对比度，特别适合观察导电粒子。
性能特点
1、采用明暗场半复消物镜，成像清晰。
2、配置12寸大平台，带快速移动装置。
3、配置有偏光装置，适合观察高反光材料的表面；
显微镜参数
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序号 |
名称 |
技术参数 |
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1 |
平场目镜 |
正像大场高眼点目镜PL10X/25mm |
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2 |
物镜 |
无限远长工作距明场半复消色差金相物镜2.5X NA0.08 WD9.2 （选购） 无限远长工作距明暗场半复消色差金相物镜5X NA0.15 WD15 无限远长工作距明暗场半复消色差金相物镜10X NA0.30 WD8.4 无限远长工作距明暗场半复消色差金相物镜20X NA0.40 WD11.9 无限远长工作距明暗场半复消色差金相物镜50X NA0.75 WD3.0 无限远长工作距明暗场半复消色差金相物镜100X NA0.90 WD1.0（选购） |
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3 |
光学放大倍数 |
50X-500X（选购100倍物镜后放大倍数25-1000X） |
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4 |
数码放大倍数 |
75-3000X(搭配1200万相机及100倍物镜，显示器22英寸情况下) |
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5 |
观察头 |
铰链三通观察筒，瞳距调节：50mm~76mm，两档分光比双目:三目=100：0 |
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6 |
转换器 |
5孔明暗场物镜转换器（带DIC插槽）. |
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7 |
调焦机构 |
反射用机架, 低手位粗微同轴调焦机构。粗调行程35mm,微调精度0.001mm。带有防止下滑的调节松紧装置和随机上限位装置。 |
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8 |
载物台 |
12英寸载物台，平台面积 760*430mm，玻璃台面310*418mm，移动行程：300mmX300mm机械平台，X、Y方向同轴调节；含快速移动装置 |
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9 |
晶圆转台 |
12寸通用晶圆转台（选购） |
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10 |
偏光组件 |
起偏镜插板，360°旋转式检偏镜插板 |
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11 |
反射照明系统 |
明暗场反射照明器，带可变孔径光阑，视场光阑，中心可调，带滤色片插槽，带起偏镜/检偏镜插槽，10W可调LED灯室，透、反射通用，预定中心 |
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13 |
聚光镜 |
摇出式消色差聚光镜（N.A.0.9） |
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14 |
摄像接口 |
0.65倍专用摄像接口 |
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15 |
干涉组件 |
诺曼尔斯基微分干涉片（选购） |
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16 |
高清1200万显微相机 或2000万像素或自动对焦相机（选购） |
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17 |
图像处理软件 |
拍照，录像，测量，实时图像拼接，景深融合等（选购） |
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18 |
标尺 |
高精度型测微尺，格值0.01m 总长1mm（选购） |