LW300MT正置芯片检查金相显微镜
LW300MT正置芯片检查金相显微镜

LW300MT正置芯片检查金相显微镜

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品牌
MicroDemo
产品编号
1444
产品型号
LW300MT正置芯片检查金相显微镜
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用途:

专为微电子行业量身定做,适用于硅、砷化镓、磷化铟等基片6″8″盘的生产工艺检查;可以方便的快移和精确的位移检查;也可以适用其它需较大面积标本的工艺检查。

性能特点:

1、 配置大视野目镜和长距平场消色差物镜(无盖玻片),视场大而清晰。

2、配置大移动范围的载物台,能快速和慢速移动。

3、粗微动同轴调焦机构,粗动松紧可调,带锁紧和限位装置,微动格值:2μm。

4、6V 20W卤素灯,亮度可调。

5、三目镜筒,可自由切换正常观察与偏光观察,可进行100%透光摄影。

主要技术参数:

1、三目镜筒:倾斜30 °,瞳距55mm-75mm,视度±5°                

2、目镜:WF10X/18mm

3、长距平场消色差物镜(无盖玻片)PL 5X/0.12 、PL L10X/0.25 、PL L20X/0.40 、PL L40X/0.60 、PL L80X/0.8

4、总放大倍数:50X-800X

5、载物台:尺寸: 280mm×270mm,移动范围: 204mm×204mm

6、调焦:粗微动同轴 升降范围25mm  微动格值0.002mm 

7、光 源:柯勒照明 滤色片座 可调卤素灯6V20W

8、正交偏光装置

选配件:

1、目镜:WF16X/11mm,WF20X/9mm,10X带尺可调目镜

2、长距平场消色差物镜(无盖玻片)PL L 50X/0.70、 PL L 60X/0.75 (弹簧)、 PL L 100X/0.85 (弹簧) ,

    平场消色差物镜(无盖玻片): PL 100X/1.25  (弹簧,油) 

3、摄像系统:数码摄像头500万或1000万像素;610万工业摄像头

4、测量软件,金相分析软件等