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一、用途
TMG-600明暗场硅片检测显微镜是适用于对太阳能电池硅片的显微观察。本仪器配有大移动范围的载物台、落射照明器、长工作距离的平场消色差物镜、大视野目镜,图像清晰、衬度好,同时配有偏光装置,及其高像素的数码摄像头. 本仪器配有暗场物镜,使观察硅片时图像更加清晰,是检测太阳能电池硅片的”金字塔” 的微观形貌分布情况,及硅片的缺陷分析的理想仪器.
硅片检测显微镜可以观察到肉眼难观测的位错、划痕、崩边等;还可以对硅片的杂质、残留物成分分析.杂质包括: 颗粒、有机杂质、无机杂质、金属离子、硅粉粉尘等,造成磨片后的硅片易发生变花、发蓝、发黑等现象,使磨片不合格. 是太阳能电池硅片生产过程中必不可少的检测仪器之一.
仪器采用优良的无限远光学系统与模块化的功能设计理念,可以方便升级系统,实现偏光观察、暗场观察等功能。紧凑稳定的高刚性主体,充分体现了显微镜操作的防振要求。符合人机工程学要求的理想设计,使操作更方便舒适,空间更广阔。适用于金相组织及表面形态的显微观察,是金属学、矿物学、精密工程学研究的理想仪器。适合电子、冶金、化工和仪器仪表行业用于观察透明、半透明或不透明的物资,如金属陶瓷、集成块、印刷电路板、液晶板、薄膜、纤维、镀涂层以及其它非金属材料,也适合医药、农林、公安、学校、科研部门作观察分析用。
二、标准配置
TMG-600技术规格 |
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目镜 |
大视野 WF10X(视场数Φ22mm) |
无限远平场 消色差明暗场物镜 |
PL L5X/0.12 工作距离:9.7 mm |
PL L10X/0.25 工作距离:9.3 mm |
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PL L20X/0.40 工作距离:7.2 mm |
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PL L40X/0.60 工作距离:3.0 mm |
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PL L80X/0.70 工作距离:2.5 mm |
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目镜筒 |
30˚倾斜,瞳距调节范围53~75mm. |
调焦机构 |
粗微动同轴调焦,带锁紧和限位装置,微动格值:2μm. |
转换器 |
五孔(内向式滚珠内定位) |
载物台 |
双层机械移动式载物台, 外形尺寸:210mmX140mm,移动范围:75mmX50mm |
照明系统 |
12V50W卤素灯,亮度可调 |
配置黄、蓝、绿滤色片与磨砂玻璃片 |
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内置视场光栏、孔径光栏、滤色片转换装置、推拉式检偏器与起偏器 |
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透射照明系统 |
阿贝聚光镜NA.1.25可上下升降 |
集光镜中内置视场光栏 |
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配置蓝滤色片与磨砂玻璃片 |
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12V30W卤素灯,亮度可调 |
三、选购件
目镜 |
分划目镜10X(Φ22mm) |
明暗场物镜
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50X、80X、100X |
CCD接头 |
0.5X、1X、0.5X带分划尺 |
摄像仪 |
USB输出:130/300/500/1000万像素 |
数码相机接头 |
CANON(EF) NIKON(F) |
分析软件:
2.金相组织图谱评级分析软件
四、系统组成
硅片检测显微镜(TMG-600C): 1.显微镜 2.适配镜 3、500万高像素摄像头 4、计算机(选配)
五、总放大参考倍数
电脑型硅片检测显微镜(TMG-600C):50--4000倍 (17寸显示器为例)